Jurnal Internasional Proceedings, Vol. 2, Halaman 934: Teknologi untuk SMD Packaging MOX Gas Sensor

Download Jurnal Disini

Prosiding, Vol. 2, Halaman 934: Teknologi untuk SMD Packaging MOX Gas Sensor

Prosiding doi: 10.3390 / proceedings2130934

Penulis:
Nikolay Samotaev
Konstantin Oblov
Anastasia Ivanova
Boris Podlepetsky
Nikolay Volkov
Nazar Zibilyuk

Kombinasi perspektif teknologi laser micromilling dan teknologi pencetakan jet (aerosol) untuk MEMS keramik yang menghasilkan microhotplate dalam paket surface mounted device (SMD) untuk sensor oksida logam (MOX) dijelaskan. Ada yang membahas aspek teknologi dan ekonomi dari produksi sensor MOX gas skala kecil. Percobaan dengan laser micromilling keramik Al2O3 menegaskan kemungkinan untuk menghasilkan MEMS microhotplate untuk sensor gas MOX dalam paket SMD dengan form-factor SOT-23. Proses teknologi yang dikembangkan mendekati filosofi prototipe 3D — cepat, sederhana, dan murah.

Download Jurnal Disini
Jurnal

Proceedings, Vol. 2, Halaman 934: Teknologi untuk SMD Packaging MOX Gas Sensor