Jurnal Internasional Proceedings, Vol. 2, Halaman 928: Studi Pengurangan Tegangan Aktuator Elektrostatik dengan Aktuator Tri-Elektroda dengan Tegangan Pull-Down yang Bervariasi

Download Jurnal Disini

Prosiding, Vol. 2, Halaman 928: Studi Pengurangan Tegangan Aktuator Elektrostatik dengan Aktuator Tri-Elektroda dengan Tegangan Tarik-Turun

Prosiding doi: 10.3390 / proceedings2130928

Penulis:
Yu Zhou
Cyrus Shafai
Lot Shafai
Greg Burley

Menggunakan topologi tri-elektroda untuk aktuator elektrostatik dapat secara signifikan mengurangi tegangan kontrol yang diperlukan. The topologi tri-elektroda menggunakan elektroda menengah berlubang antara struktur MEMS dan elektroda pull-down, dan menyediakan kontrol tegangan rendah untuk struktur MEMS. Simulasi pegas didukung MEMS dalam aktuator elektrostatik konvensional yang menawarkan ~ 4,5 µm perpindahan dengan 20 V pada elektroda pull-down, dibandingkan dengan aktuator tri-elektroda. Studi ini menunjukkan bahwa elektroda menengah dapat bertindak untuk memberikan perpindahan terkontrol yang sama dengan hanya 1/3 dan 1/4 tegangan untuk kasus-kasus dengan elektroda pull-down yang dipegang tetap pada 20 V dan 40 V masing-masing. Prototipe fabrikasi secara eksperimental menunjukkan bahwa elektroda menengah dapat memberikan kontrol perpindahan yang sama dengan hanya 1/6 tegangan kontrol normal dari aktuator elektrostatik.

Download Jurnal Disini
Jurnal

Proceedings, Vol. 2, Halaman 928: Studi Pengurangan Tegangan Aktuator Elektrostatik dengan Aktuator Tri-Elektroda dengan Tegangan Pull-Down yang Bervariasi

Leave a reply "Jurnal Internasional Proceedings, Vol. 2, Halaman 928: Studi Pengurangan Tegangan Aktuator Elektrostatik dengan Aktuator Tri-Elektroda dengan Tegangan Pull-Down yang Bervariasi"

Author: 
    author